企业应组织专业管理人员和操作人员编制、修订和审核操作规程，将成熟的安全操作经验纳入操作规程中。

企业应在作业现场存有最新版本的操作规程文本，以方便现场操作人员的方便查阅。

企业应定期对岗位人员开展操作规程培训和考核。

生产过程中严禁出现超温、超压、超液位运行情况；对异常工况处置应符合操作规程要求。

当工艺路线、控制参数、原辅料等发生变更时，应严格执行变更管理制度，开展变更安全风险分析；变更后应对相关操作规程进行修订，并对相关人员进行培训。

企业应建立操作记录和交接班管理制度，并符合以下要求：
1.严格遵守操作规程，按照工艺参数操作；
2.按规定进行巡回检查，有操作记录；
3.严格执行交接班制度。

安全操作规程中应明确下列要求并执行：
（1） 涉及氯硅烷、氢气的系统及管道进料前应采用高纯氮气置换，并检测氮中氧以及露点合格，然后采用高纯氢气置换，并检测氢中氮和氢中氧合格。
（2） 液氯气化系统储罐及管道应采用高纯氮气置换、并检测氮中氧以及露点合格，然后采用氯气置换、并检测氯气纯度和水分合格。

企业应建立操作规程与工艺控制管理制度，包括编写、审查、批准、颁发、使用、控制、确认、修改及废止的程序和职责等内容。

1. 企业应制订操作规程，并明确工艺控制指标。
2.企业应根据生产特点编制工艺卡片，工艺卡片应与操作规程中的工艺控制指标一致。
3.现场表指示数值、DCS 控制值与操作规程、工艺卡片控制值应保持一致。

1. 企业应定期对岗位人员开展操作规程培训和考核，核对考核内容与所培训的操作规程的符合情况。
2.企业应在作业现场存有最新、有效版本的操作规程文本，以方便现场操作人员的方便查阅。
3.操作人员应掌握主要工艺控制指标的控制范围。