4.0.4低温法空气分离系统的设备配置应符合下列规定：
1原料空气过滤器的过滤精度应按空气压缩机类型确定。当釆用离心式压缩机时，其原料空气过滤器的过滤精度当悬浮粒子的粒径小于0.5μm时，应大于或等于99%；粒径小于2μm时，应大于或等于99.8%。
2根据工艺流程和冷箱出口氧、氮产品的压力要求，全低压空气分离设备的原料空气压力不宜大于1.0MPa。
3除空气压缩机设有后冷却器或纯化器釆用变压吸附工艺可不设空气预冷装置外，宜设置空气预冷装置。
4空气纯化装置应釆用分子筛吸附器，其纯化后的原料空气中的二氧化碳含量宜小于1.0X10-6，水分含量宜小于2.6X10-6，氧化亚氮脱除率宜大于80%。
5空气分离装置内釆用膜式主冷凝蒸发器时，宜设置液空或液氧吸附器。

4.0.5低温法空气分离系统釆用内压缩流程时，宜设置空气增压机或循环氮气压缩机。

4.0.6利用大、中型低温法空气分离设备制取氩气宜釆用全精储馏制氩方法。

4.0.7大型低温法空气分离设备氖、氦、氪、氙等稀有气体提取装置的设置应符合下列规定：
1应根据用户需求；
2稀有气体提取及其提纯宜集中进行；
3提取的品种、纯度应依据技术经济比较确定。

4.0.8离心式空气压缩机应设下列保护系统:
1防喘振保护系统；
2安全放散系统；
3轴承温度、轴振动和轴位移测量、报警与停车系统；
4入口导叶可调系统。

4.0.9用一氧或氮气的制取，其氧气纯度低于95%或氮气纯度低于99.99%时，宜釆用常温变压吸附空气分离系统；吸附剂的再生解吸宜釆用常压解吸或真空解吸。

4.0.10单一富氧或氮气的制取，其氮气产量不超过3000m3/h且低于99.0%时，宜采用常温空气膜法制取氧、氮系统；膜法空气分离系统应由原料空气压缩机、缓冲罐、膜分离组件和产品增压设备等组成。

4.0.11低温法空气分离系统的流程，用氧压力大于4MPa或液体产品需求大的用户应采用内压缩流程；用氧压力小于或等于4MPa或液体产品需求量小的用户宜采用外压缩流程。

4.0.12氧气和氮气压缩机应按气体流量和排气压力选用活塞式或离心式压缩机。单台压缩机能力大于6000m3/h时，宜采用离心式压缩机。

4.0.13活塞式氧气压缩机应采用气缸无油润滑压缩机；当采用气缸水润滑压缩机时，应设置软水供给系统，并应设置断水报警、停车装置。